空间像

概述

空间像是光线从光源发出通过投影系统在光刻胶上所形成光强分布的图像。使用仿真软件可以计算出不同极化照明下的空间像(aerial image)。

2百科释义

空间像是光线从光源发出通过投影系统在光刻胶上所形成光强分布的图像。使用仿真软件可以计算出不同极化照明下的空间像(aerial image)。

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本词条最后更新于 2026-07-13 21:25:40

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