投影透镜

概述

投影透镜是指对准光线透过曝光系统的透镜，用于对准的激光束照在晶圆上，其反射束经过曝光系统的透镜，汇聚在掩模上成像。

2百科释义

投影透镜是指对准光线透过曝光系统的透镜，用于对准的激光束照在晶圆上，其反射束经过曝光系统的透镜，汇聚在掩模上成像。

9词语组词

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本词条最后更新于 2026-07-12 14:41:41

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